| Номер ГОСТ | Название ГОСТ |
|
ГОСТ 19014.0-73
|
Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа |
|
ГОСТ 19014.1-73
|
Кремний кристаллический. Методы определения алюминия |
|
ГОСТ 19014.2-73
|
Кремний кристаллический. Метод определения железа |
|
ГОСТ 19014.3-73
|
Кремний кристаллический. Метод определения кальция |
|
ГОСТ 19014.4-73
|
Кремний кристаллический. Метод определения титана |
|
ГОСТ 19658-81
|
Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия |
|
ГОСТ 2169-69
|
Кремний технический. Технические условия |
|
ГОСТ 22265-76
|
Материалы проводниковые. Термины и определения |
|
ГОСТ 22622-77
|
Материалы полупроводниковые. Термины и определения основных электрофизических параметров |
|
ГОСТ 26239.0-84
|
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа |
|
ГОСТ 26239.1-84
|
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей |
|
ГОСТ 26239.2-84
|
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора |
|
ГОСТ 26239.3-84
|
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора |
|
ГОСТ 26239.5-84
|
Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей |
|
ГОСТ 26239.6-84
|
Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана |
|
ГОСТ 26239.7-84
|
Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота |
|
ГОСТ 26239.8-84
|
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
|
ГОСТ 4.64-80
|
СПКП. Полупроводниковые материалы. Номенклатура показателей |
