|
Характеристика
|
Значение
|
|
Номер ГОСТ
|
ГОСТ 26239.7-84
|
| Наименование |
Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота
|
| Наименование на англ. яз. |
Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination
|
|
Статус ГОСТ
|
действующий
|
| Дата актуализ. текста |
15.04.2009
|
| Дата актуализ. описания |
01.05.2009
|
| Дата введения |
01.01.1986
|
| Область применения |
Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами
|
| Изменения |
№1 от --1991-01-01 (рег. --1990-06-26) «Срок действия продлен»
|
