|
Характеристика
|
Значение
|
|
Номер ГОСТ
|
ГОСТ Р 8.640-2008
|
| Наименование |
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
|
| Наименование на англ. яз. |
State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
|
|
Статус ГОСТ
|
действующий
|
| Дата актуализ. текста |
15.04.2009
|
| Дата актуализ. описания |
01.05.2009
|
| Дата введения |
01.01.2009
|
| Область применения |
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
|
