|
Характеристика
|
Значение
|
|
Номер ГОСТ
|
ГОСТ Р 52250-2004
|
| Наименование |
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
|
| Наименование на англ. яз. |
Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
|
|
Статус ГОСТ
|
действующий
|
| Дата актуализ. текста |
15.04.2009
|
| Дата актуализ. описания |
01.05.2009
|
| Дата введения |
01.01.2005
|
| Область применения |
Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
|
