|
Характеристика
|
Значение
|
|
Номер ГОСТ
|
ГОСТ 25662-83
|
| Наименование |
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний
|
| Наименование на англ. яз. |
Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods
|
|
Статус ГОСТ
|
действующий
|
| Дата актуализ. текста |
15.04.2009
|
| Дата актуализ. описания |
01.05.2009
|
| Дата введения |
01.01.1984
|
| Область применения |
Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций
|
| Изменения |
№2 от --1989-01-01 (рег. --1988-11-03) «Поправка», №1 от --1984-10-01 (рег. --1984-04-29) «Срок действия продлен»
|